双频激光干涉仪的工作原理

2013-03-28 admin1

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。

另外一只路经偏振分光镜后又可以分为四公里：一起成仅包含的f1的点光，另外一只路成仅包含的f2的点光。当可动折射镜转动时，包含的f2的点光经可动折射镜折射后成包含的f2 ±Δf的点光，Δf是可动折射镜转动时多普勒作用诞生的扩展频次，正反号写出转动方问(多普勒作用是奥以利人C.J.多普勒提供 的，即波的频次在波源或接手器跑步时候诞生转化)。这路点光和由固定的折射镜折射回家仅包含的f1的光的点光经偏振片2完会组成f1-(f2±Δf)的衡量点光。

衡量粒子束和综上所述决定性粒子束经相互之间的光电材料转移元器件、拖动器、整形外科器后进入減法器相减，输出的将成为仅所含±Δf的电智能预警。经不可逆转运算器器运算器后，由微电子来计算机硬件做出当量换算(乘 1/2智能机械器光谱)后能够求得可动射线镜的位移量。双频智能机械器抵触仪是使用规律发生改变来衡量位移的，这一位移企业信息载于f1和f2的频差上，对由光强发生改变诱发的电流电平发生改变不神经敏感，这些抗干扰信号意识强。它常见于检定测长机、三经纬度衡量机、光刻机和加工生产心中等的经纬度精密度，也可以作测长机、高精密度三经纬度衡量机等的衡量软件系统。采用此类图片附件，还可做出高精密度垂直线度衡量、单面度衡量和小方向角衡量。